Щоб відповідати високим -стандартам-вимог щодо безпилового-виробництва напівпровідників, оптичного контролю та автоматизованого обладнання, а також покращити точну стабільність і термін служби прецизійних гранітних основ, наша компанія оптимізувала та впровадила стандартизовані технічні характеристики-безпилового очищення для гранітних основ, які використовуються на лініях виробництва напівпровідників. Базуючись на багаторічному досвіді точної обробки каменю та реальних сценаріях застосування напівпровідникових майстерень, стандартизована та систематична робота забезпечує довгострокову-еталонну точність високоякісного-обладнання.
Напівпровідникове обладнання вимагає надзвичайно високої екологічної чистоти та точності площинності. Як основний еталонний компонент, гранітні основи дуже чутливі до дрібного пилу, волокнистого ворсу, масляних плям і залишків вологи на поверхні. Навіть незначні забруднення можуть спричинити помилки виявлення, дрейф позиціонування та порушення фокусування лінз, що безпосередньо впливає на вихід напівпровідникового продукту. Завдяки природній мікропористій структурі граніту дрібні частинки легко адсорбуються на поверхні. Звичайні методи прибирання не можуть відповідати стандартам майстерні-без пилу, тому професійна, ретельна та систематична система керування-прибиранням без пилу є важливою.
Відповідно до стандартів Class 1000 і Class 10000 для-безпилових майстерень наша компанія створила повну систему-безпилового очищення, яка охоплює сім основних параметрів: середовище очищення, професійні інструменти, робочі процедури, керування циклом, специфікації персоналу, заборони на роботу та відстеження даних.
З точки зору захисту навколишнього середовища та керування інструментами, усі операції з чищення виконуються у вільній-запиленій-температурі та-вологості зоні, щоб запобігти незначній деформації, спричиненій поглинанням вологи. Ми використовуємо спеціальні набори для чищення-без пилу, включаючи тканини з-мікрофібри без пилу, етанол-високої чистоти та азотні пилові пістолети. Звичайні тканини, паперові рушники, водопровідна вода, кислотні та лужні миючі засоби суворо заборонені, щоб уникнути вторинного забруднення та пошкодження поверхні.
Що стосується операційних процедур, ми впроваджуємо три{0}}рівневий стандартизований механізм прибирання: щоденне планове прибирання, щотижневе глибоке прибирання та щомісячне професійне обслуговування. Щоденне плаваюче видалення пилу та-одностороннє протирання забезпечують щоденну робочу чистоту. Щотижневе глибоке очищення ретельно видаляє адсорбовані частинки з країв, зазорів і монтажних отворів. Щомісячне повне технічне обслуговування включає очищення обладнання від зупинки, повторну -перевірку точності, запис даних і перевірку пилонепроникності для підтримки стабільної точності під час тривалого-користування.
Тим часом для всіх операторів застосовуються суворі-стандарти роботи без пилу. Увесь персонал має пройти професійне навчання без-пилу та носити повну уніформу та рукавички,-від пилу. Забороняється прямий{5}}контакт голих рук із контрольними поверхнями, щоб уникнути мікро-забруднення, спричиненого дихальним повітряним потоком, залишками волосся та волокон, гарантуючи, що кожен процес очищення є стандартизованим і контрольованим.
Щоб гарантувати -довгострокову якість продукції, ми запровадили повні записи про очищення та керування відстеженням. Час очищення, оператори, параметри навколишнього середовища та дані повторного-огляду повністю архівуються, щоб сформувати замкнуту-систему стандартизованого управління. Це ефективно запобігає погіршенню точності, нерівності поверхні та дрейфу виявлення, спричиненому нерегулярними операціями очищення.
Наразі цей набір специфікацій очищення-без пилу повністю застосовано для перевірки заводу, очищення від налагодження та вказівок клієнтам наших напівпровідникових-гранітних основ. У майбутньому ми продовжуватимемо поглиблювати прецизійну обробку граніту та стандартизовані системи обслуговування, постійно оптимізувати весь процес виробництва, полірування, перевірки та очищення, а також забезпечувати клієнтів у галузі напівпровідникового, оптичного та високо-прецизійного обладнання високою-прецизійністю, високою-стабільністю та високою{6}}міцністю гранітної основи та професійними технічними послугами.