У невпинній гонитві за 2-нм технологічним вузлом і за його межами напівпровідникова промисловість часто зосереджується на вакуумних системах, EUV джерелах світла та складних датчиках. Однак найбільш критичним «тихим партнером» у цьому рівнянні є механічна основа. Оскільки обладнання для перевірки пластин вимагає суб{3}}нанометрової роздільної здатності, структурна цілісність забезпечується гранітною метрологічною основою абооснова з епоксидного гранітустало вирішальним фактором у досягненні повторюваної точності.
Виклик сучасної інспекції пластин
Для метрології напівпровідників основними ворогами є вібрація та термічна нестабільність. Коли сканери та інспекційні інструменти рухаються з більшою швидкістю, щоб збільшити пропускну здатність, вони створюють сили інерції, які можуть поставити під загрозу точність вимірювань. Стандартна сталева або чавунна рама, хоча й міцна, не має внутрішнього демпфування, необхідного для швидкого розсіювання цих мікро-вібрацій для вимог сканування наступного-покоління.
Саме тут матеріалознавство, що лежить в основі рішень UNPARALLELED, стає життєво важливим. Забезпечуючи масивну над-стабільну платформу, ми гарантуємо, що повітряний підшипник може працювати з максимальною продуктивністю без зовнішнього чи внутрішнього втручання.
Натуральний граніт проти епоксидного граніту: вибір правильної основи
У UNPARALLELED Group ми пропонуємо як природні, так і синтетичні рішення, оскільки кожне відіграє окрему роль у високо-точній екосистемі.
1. Незмінна досконалість природного граніту. Багато років гранітна метрологічна база є золотим стандартом. Його головна перевага полягає в надзвичайній стабільності розмірів і низькому коефіцієнті теплового розширення. Оскільки природний граніт старів мільйони років, він вільний від внутрішніх навантажень. Для статичної метрології або інструментів, що вимагають найвищого ступеня площинності поверхні (часто класу 000), натуральний граніт залишається неперевершеним.
2. Інженерна гнучкість епоксидного граніту Оскільки конструкція обладнання для перевірки пластин стає складнішою, основи з епоксидного граніту (мінеральне лиття) набувають значної популярності. Цей матеріал складається з добірних кам’яних заповнювачів, скріплених високо-смолами.
Виняткова амортизація: епоксидний граніт має -коефіцієнт гасіння вібрації майже в десять разів кращий, ніж чавун, і значно вищий, ніж природний камінь. Це забезпечує швидший «час встановлення» для високошвидкісного повітряного підшипника-.
Інтеграція: ми можемо влити складні елементи безпосередньо в основу-, як-от труби охолоджуючої рідини, різьбові вставки та кабельні канали-, зменшуючи «загальну вартість володіння» для OEM-виробників.
Оптимізація інтерфейсу Air Bearing Stage
Повітроносна платформа настільки хороша, наскільки хороша поверхня, на якій вона плаває. У напівпровідникових системах повітряний зазор часто становить менше 10 мікрометрів. Будь-яке відхилення в площинності основи призводить до прямої помилки у фокальній площині пластини.
UNPARALLELED використовує вдосконалені методи ручного{0}}притирання в поєднанні з лазерною інтерферометрією, щоб гарантувати, що наші основи забезпечують майже-ідеальну площину. Об’єднавши основу та напрямну руху в єдине ціле, ми зводимо до мінімуму-накопичування механічних допусків. Цей цілісний підхід є причиною того, чому провідні виробники напівпровідникового обладнання відходять від багато-компонентних вузлів до інтегрованого мінерального лиття або монолітних гранітних структур.
НЕПРОВІННА Перевага в глобальній метрології
Глобальний ланцюг постачання напівпровідників потребує не лише постачальника компонентів; для цього потрібен партнер, який розуміє нюанси сумісності з чистими приміщеннями, стандарти дегазації та довгострокову-геометричну надійність. Досвід UNPARALLELED Group як у натуральному камені, так і в мінеральному литті дозволяє нам пропонувати неупереджені технічні консультації нашим клієнтам.
Від початкового аналізу кінцевих елементів (FEA) до кінцевої прецизійної притирки, наш процес розроблений, щоб гарантувати, що ваш вимірювальний інструмент для напівпровідників забезпечить найвищий можливий вихід. У галузі, де важливий кожен нанометр, ми забезпечуємо стабільність, на яку ви можете спиратися.
Висновок: проектування майбутнього стабільності
Еволюція обладнання для перевірки пластин продовжуватиме розширювати межі фізики. Незалежно від того, чи потрібна ваша програма класичної стабільності гранітної метрологічної основи чи високого-демпфування, складної геометріїоснова з епоксидного граніту, UNPARALLELED Group стоїть на передньому краї цієї фундаментальної технології. Ми запрошуємо інженерів і системних інтеграторів дослідити, як наші матеріали можуть зменшити бюджет помилок їхніх систем наступного-покоління.