Виробництво напівпровідників вимагає надзвичайно високої точності.
Сучасні системи перевірки пластин і обладнання для виробництва напівпровідників часто працюють із мікронними або нанометровими -допусками. Навіть невелика термічна деформація або вібрація можуть вплинути на роботу системи.
З цієї причини прецизійні гранітні підставки машин стали важливим компонентом напівпровідникового обладнання.
Для чого використовуються напівпровідникові машиниКонструкції з граніту
Граніт пропонує кілька важливих переваг для застосування в напівпровідниках:
- Відмінна термічна стабільність
- Чудове гасіння вібрації
- Тривала -стабільність розмірів
- Не-магнітні характеристики
- Стійкість до корозії
Ці властивості допомагають напівпровідниковому обладнанню підтримувати стабільну точність позиціонування.
Термічна стабільність напівпровідникової апаратури
Середовище виробництва напівпровідників вимагає суворого контролю розмірів.
Прецизійний граніт має низький коефіцієнт теплового розширення, що допомагає зменшити деформацію, спричинену змінами температури.
Типове теплове розширення граніту:
4,6×10⁻⁶/градус
Ця стабільність важлива для:
- Системи контролю пластин
- Етапи літографії
- Напівпровідникове метрологічне обладнання
- Платформи точного позиціонування
Площинність і точність позиціонування
Напівпровідникові системи вимагають надзвичайно високої площинності та точності руху.
Типові характеристики точності включають:
| Параметр | Типове значення |
|---|---|
| площинність | 2 мкм/1000 мм |
| Паралелізм | 3μm |
| Оздоблення поверхні | Ra 0,4 |
| Стабільність позиціонування | Суб{0}}мікрон |
Точні гранітні основи допомагають підтримувати стабільне позиціонування під час безперервної роботи.
Застосування гранітних структур у напівпровідниковій промисловості
Конструкції з граніту широко використовуються в:
| застосування | функція |
|---|---|
| Системи перевірки пластин | Стабільна вимірювальна платформа |
| Літографічне обладнання | Підтримка точного руху |
| Метрологічні системи | Висока точність вимірювання |
| Напівпровідникові етапи | Структура позиціонування руху |
| Обладнання для оптичного контролю | Віброізоляція |
Чому варто вибрати UNPARALLELED®
UNPARALLELED® виробляє надточні гранітні компоненти для напівпровідникової та високо-технічної промисловості.
Наші виробничі можливості включають:
- Велика обробка граніту
- Точне шліфування та притирка
- Складна точна збірка
- Напівпровідникові структурні системи-
- Надточний контроль допуску
Наші гранітні конструкції використовуються в передових напівпровідникових і метрологічних додатках по всьому світу.
FAQ
Чому граніт використовується в напівпровідниковій апаратурі?
Граніт забезпечує термічну стабільність, гасіння вібрації та стабільність розмірів для високоточних напівпровідникових систем.
Якої площинності можуть досягти основи з напівпровідникового граніту?
Надточні гранітні основи можуть досягти мікрон{0}}рівня площинності залежно від вимог застосування.
Гранітні підстави краще металевих конструкцій?
Для надточних застосувань граніт, як правило, забезпечує кращу термічну стабільність і гасіння вібрації, ніж багато металевих конструкцій.