I. Спеціальні вимоги до поверхневого точного шліфування гранітних порталів у різних робочих умовах
На відміну від звичайних гранітних вимірювальних інструментів, які потребують лише шліфування в одній-площині, гранітні портали — це складені структурні компоненти, що складаються з кількох пов’язаних еталонних значень, у тому числі опорних площин із великим-прольотом, вертикальних монтажних поверхонь, поверхонь ступенів, позиційних плечей, отворів для розточування, T-прорізів і канавок для ущільнення повітряних підшипників. Кожна робоча поверхня підлягає суворим обмеженням перпендикулярності, паралельності та допуску положення, що робить логіку шліфування плоских пластин незастосовною.
Точне шліфування поверхні забезпечує не лише рівномірність нано-рівня, але й чудову мікро{1}}морфологію поверхні. Грубі текстури шліфування, мікровідколи та міжкристалічний відшарування на поверхні каменю збільшують ризики накопичення пилу та спричиняють проблеми з осадженням часток у-напівпровідникових майстернях без пилу. Між тим, мікродефекти на краях канавок і отворів створюватимуть локальну напругу під час складання ущільнювальних кілець і металевих притискних блоків, прискорюючи старіння ущільнювальних компонентів.
На етапі чорнового шліфування використовуються великі шліфувальні верстати з ЧПК, щоб видалити припуски на обробку та виправити загальний геометричний контур. Однак механічне шліфування залишить напружений шар на поверхні каменю. Пряме постачання без чистової обробки призведе до незначного викривлення та деформації контрольних поверхонь через поступове звільнення поверхневої напруги під час циклічних змін температури та постійного навантаження. Тому точне шліфування поділяється на два етапи: ультра{3}}механічне шліфування та ручне нано{4}}фінішне шліфування.
Над-точне шліфування великих-розмірів порталів виконується в цеху з постійною-температурою та-вологістю. Швидкість подачі та тиск шліфування регулюються по-різному відповідно до жорсткості різних зон порталу, оскільки жорсткість зони підвішеної балки та зони опори колони значно різниться. Рівномірні параметри подрібнення легко призведуть до локального пере-подрібнення або недостатнього подрібнення. Після механічного шліфування старші техніки з десятиліттями практичного досвіду проводять ручну чистову обробку. Вони виконують локальне полірування та підрізання на -зосереджених навантаженнях позиціях, таких як краї канавок, монтажні плечі та периферії отворів, щоб усунути відколи країв і міжкристалічне відшарування, контролювати шорсткість поверхні та забезпечити рівномірну мікро-морфологію всіх складальних поверхонь. Весь процес точного шліфування здійснюється під постійним контролем температури, щоб уникнути відхилень обробки, спричинених градієнтами температури. Після завершення багатовимірна-диапазонна перевірка проводиться за допомогою лазерних інтерферометрів, тестерів шорсткості та електронних рівнів, щоб переконатися, що всі робочі поверхні складання відповідають стандартам точності міжнародних метрологічних специфікацій, включаючи DIN, ASME, JIS і GB.
II. Аналіз джерел ризику корозії для гранітних порталів
Поширеною помилкою в промисловості є те, що граніт сам по собі не іржавіє, тому не потребує анти{0}}обробки від корозії. Насправді всі корозійні пошкодження виникають із-за вбудованих -металевих компонентів порталу, включаючи різьбові сталеві втулки, втулки позиціонуючих штифтів, металеві ущільнювальні вставки для канавок повітряного підшипника, підйомні вбудовані частини та з’єднувальні втулки.
Існує три основні типи ризиків корозії. По-перше, неправильний вибір матеріалу металевих закладних деталей: звичайні деталі з вуглецевої сталі схильні до окислення у вологому повітрі та середовищі конденсату. По-друге, граніт — це пористий природний матеріал. Незважаючи на низьке водопоглинання, навколишня волога все ще може проникати через щілини між кам’яними та металевими вбудованими частинами, утворюючи замкнуті вологі простори всередині щілин і викликаючи щілинну корозію. По-третє, іржа, що утворюється в результаті окислення, проникає назовні через щілини та мікропори каменю, утворюючи жовто-коричневі плями іржі на поверхні граніту. Ці плями проникають глибоко в камінь, і їх важко повністю видалити на пізній стадії, пошкоджуючи зовнішній вигляд. Крім того, іржаве сміття, що падає, забруднює-майстерні без пилу та подряпає рухливі пари направляючих рейок із повітряними підшипниками.
Особливо на прибережних заводах і лініях виробництва напівпровідників із високою-вологістю з великими коливаннями вологості вдень-вночі, гранітні портали є великими нерухомими конструкціями, які не можна розбирати та часто обслуговувати. Коли виникає корозія, витрати на розбирання та переробку надзвичайно високі, що може навіть вплинути на нормальну роботу всього обладнання. Тому анти-управління корозією не може покладатися лише на після-розпилення; його необхідно розширити до всього процесу, включаючи структурний дизайн, вибір вбудованих частин, технологію складання та обробку поверхневих ущільнень.
III. Підтримка анти-корозійної технології для металевих вбудованих деталей
Група UNPARALLELED розробила повний процес захисту-замкнутого циклу для металевих вбудованих частин гранітних порталів, вибір матеріалу покриття, попередню-обробку, збірку вбудованих елементів і герметизацію щілин.
Що стосується вибору матеріалів, корозійно-{0}}стійка легована та нержавіюча сталь мають пріоритет замість звичайної вуглецевої сталі, щоб зменшити ризик корозії від джерела. Для високоміцних деталей із вуглецевої сталі, необхідних для ефективної роботи конструкції, реалізовано кілька процесів захисту поверхні, включаючи пасивацію, гальванічне покриття та спеціальне анти{3}}корозійне покриття. Перед пресуванням і приклеюванням до граніту всі металеві частини проходять обробку для знежирення та видалення задирок, щоб усунути залишки заліза, які в іншому випадку залишилися б у зазорах для кріплення та стали б потенційними джерелами корозії.
Просте запресовування-між вбудованими частинами та стінками гранітних отворів заборонено. Високо{2}}стійкі-старінню та низькі{4}}опади герметизуючі наповнювачі застосовуються для заповнення крихітних проміжків між каменем і металом, блокуючи канали проникнення вологи та запобігаючи щілинній корозії. До наповнювачів пред’являються суворі вимоги до продуктивності: відсутність розтріскування внаслідок усадки, відсутність опадів летких речовин для адаптації до середовища-безпилових напівпровідникових майстерень, а також коефіцієнти теплового розширення, що відповідають гранітним основам, щоб уникнути дегумування та розтріскування під час змін температури.
Відкриті отвори, такі як підйомні різьбові отвори та резервні технологічні отвори, оснащені спеціальними захисними пробками після обробки. Усі отвори повністю закриваються після встановлення обладнання та введення в експлуатацію на місці, щоб запобігти контакту вологи та пилу з внутрішніми металевими втулками.
IV. Захист поверхні граніту для вторинної ізоляції від корозії
Незважаючи на те, що гранітне тіло не іржавіє, його поверхневі мікропори можуть поглинати проникаючі забруднювачі іржі та дозволяти волозі опосередковано потрапляти на металеві вбудовані частини. Таким чином, після завершення портального точного шліфування до базових поверхонь, які не є складальними, застосовують проникну захисну обробку. Примітно, що високоточні опорні поверхні руху та повітряні робочі поверхні не мають покриття, оскільки будь-який шар покриття змінює площинність поверхні та мікро{4}}точність, спричиняючи дрейф точності.
Проникний захист від низьких -опадів застосовується лише на не-функціональних зовнішніх поверхнях, бічних і задніх поверхнях, щоб закрити неглибокі мікропори каменю, зменшити проникність вологи та перешкоджати поширенню плям іржі на поверхневий шар каменю. Усі процеси захисту виконуються після завершення точного шліфування та перевірки, щоб уникнути забруднення опорних поверхонь сердечника. Після обробки виконується перевірка імітаційного складання повного порталу в майстерні з постійною-температурою-пилу, щоб перевірити всі вбудовані деталі та позиції ущільнення на нульовий ризик контакту з металом, після чого видають повні звіти про метрологічне калібрування.
V. Інструкції щодо захисту заводу та-експлуатації й технічного обслуговування на місці
Найвища технологія обробки вимагає стандартизованого транспортування та щоденного обслуговування. Великі гранітні портали перед доставкою упаковуються із засобом ізоляції від вологи, щоб запобігти передчасній корозії металевих вбудованих частин, спричиненій високим вмістом соляного туману під час морського транспортування та зберігання. У документах на поставку чітко розрізняються контрольні поверхні для точного шліфування (заборонені зіткнення та випадкове нанесення покриттів) і металеві вбудовані ділянки (ущільнювальні конструкції заборонено пошкоджувати під час -монтажу на місці).
Для -застосування на місці слід уникати тривалого-прямого впливу на портали високої-вологості та соляного туману. Для прибережних вологих умов роботи необхідно регулярно перевіряти стан відкритих металевих вставок. Сильні кислотні мийні засоби заборонені для чищення платформи, щоб запобігти пошкодженню ущільнювального шару та вторинній корозії.
Висновок
Точне шліфування поверхні гранітних порталів гарантує геометричну точність і мікро-якість поверхні, а анти-корозійна обробка забезпечує тривалу-надійність служби, що є незамінним. Прагнення лише до точності площинності, ігноруючи анти-корозійну конструкцію металевих вбудованих частин, призведе до прихованих інженерних небезпек, а саме до чудової заводської точності, але до відмови від забруднення іржею через два-три роки експлуатації.
Завдяки двом виробничим базам площею 200 000 ㎡, великому-складу каменю, над-великим-шліфувальним машинам із довгим{4}}ходом, постійній-постійній температурі-вологості-захищеним цехам і повним набором міжнародного метрологічного випробувального обладнання UNPARALLELED Group інтегрує високо{8}}прецизійне шліфування каменю та антикорозійні рішення для металевих вбудованих-деталей у весь процес виробництва гранітних порталів. Дотримуючись багатьох міжнародних метрологічних специфікацій, таких як DIN та ASME, компанія забезпечує геометричну точність усіх шліфувальних поверхонь із мікронним та нано{11}}рівнем, систематично усуваючи ризики корозії металевих вбудованих частин, забезпечуючи-довгострокові стабільні та надійні інтегровані гранітні компоненти для оптичного контролю напівпровідників, лазерне обладнання, координатно-вимірювальні машини та лінійні двигуни платформи.