Граніт і кераміка широко використовуються в точному машинобудуванні. Граніт забезпечує чудову амортизацію та економічну ефективність, тоді як кераміка забезпечує вищу жорсткість та кращу термічну стабільність. Вибір матеріалу залежить від системних вимог, а не від абсолютної продуктивності.
У прецизійному проектуванні машини вибір матеріалу безпосередньо впливає на стабільність системи, точність і-тривалу повторюваність. Двома найпоширенішими не-конструкційними матеріалами є граніт і технічна кераміка.
Граніт - природний матеріал з чудовими вібропоглинаючими характеристиками. Його внутрішня кристалічна структура допомагає розсіювати механічну енергію, що робить його дуже придатним длявеликі машинні базиі платформи руху.
Керамічні матеріали, як правило, виготовлені з оксиду алюмінію або карбіду кремнію, мають надзвичайно високу жорсткість і дуже низьке теплове розширення. Однак вони більш крихкі та значно дорожчі у виробництві, особливо у великих розмірах.
Через ці відмінності граніт і кераміка рідко є прямими замінниками. Натомість вони вибираються на основі масштабу системи та пріоритетів продуктивності.
Граніт зазвичай використовується в:
- великі ШМ машини
- напівпровідникові механічні основи
- промислові платформи руху
Кераміка зазвичай використовується в:
- системи перевірки пластин
- етапи оптичного вирівнювання
- над-блоки позиціонування високої точності
Виробничі процеси також істотно відрізняються. Граніт формують шляхом шліфування та притирки, що дозволяє створювати-структурні компоненти великого масштабу. Керамічні компоненти вимагають високотемпературного-спікання та точної механічної обробки після випалу.
Огляд порівняння:
Граніт: висока амортизація, масштабований розмір, помірна термостабільність
Кераміка: над-висока жорсткість, чудова термічна стабільність, обмежений розмір
Часті запитання:
Що краще для напівпровідникового обладнання?
Обидва використовуються залежно від вимог підсистеми.
Чи достатньо точний граніт для обробки мікрон{0}}рівня?
Так, з точною притиркою.
Чи крихка кераміка?
У порівнянні з гранітом, так.
Чому б не повністю замінити граніт?
Завдяки вартості та перевагам демпфування.
Чи можна їх поєднати в одній системі?
Так, поширені гібридні конструкції.
Який матеріал є більш стабільним у довгостроковій експлуатації?
Кераміка термічно більш стійка; граніт механічно більш поблажливий.